от выбранных параметров конструкции чувствительного элемента (основной МЭМС-структуры). 2.6 Ожидаемая собственная поперечная чувствительность чувствительного элемента по всем трем осям – не более 1%. Она будет определяться уровнем технологии его изготовления. 2.7 Остальные характеристики акселерометров на основе настоящего патента по всем трем осям (каналам измерения) будут близки к характеристикам акселерометров Measurement Specialties, Inc. Предположительно, временная и температурная стабильность начального сигнала по осям X и Y акселерометров на основе настоящего патента будут лучше. 3. О технологии изготовления интегральных акселерометров на основе патента Технология изготовления интегральных акселерометров на основе патента идентична технологии изготовления пьезорезистивных акселерометров Measurement Specialties, Inc. Примечание: у меня есть предложения (идеи) по улучшению технологии изготовления пьезорезистивных акселерометров, во всяком случае, той технологии, которая реализована на Российских предприятиях. Возможно, они окажутся ценными и представят интерес для Вас. Не исключено, однако, что они уже используются **** Hidden Message ***** Boris Pivonenkov 141074 RUS Company: private person Phone: +7 4955112770 E-mail: piboiv@yandex.ru **** Hidden Message ***** piboiv@yandex.ru
